在将废溅射靶材粉碎后再进行回收处理时，在粉碎过程中不可避免地会混入大量杂质，难以有效去除混入的杂质，具有经济优势。存在无法在维持上述状态的同时应对高纯度靶材的再生的问题。通过经济的方法将靶材中混入的成分元素相互分离，去除靶材使用和回收处理中不可避免地混入的杂质，去除作为有价金属元素的铂族元素。回收再生为高纯度金属粉末。以溅射后的高纯度处理靶为原料，制造均匀且高纯度且微细结构的粉末材料。提供一种使用粉末材料来制造靶材的方法，该粉末材料可以通过将所获得的金属粉末用作材料来低成本地制造，即可以回收利用。
通过机械粉碎获得的纯度降低的粉碎材料和粉末在熔盐中氯化，然后选择性地还原生成的金属氯化物，从而获得高熔点金属和贵金属。我们发现可以获得高纯度状态的粉末。
通过在熔融盐中氯化含有铂族元素金属的溅射靶废料(废料)并选择性地还原要回收的金属氯化物而包含高纯度铂族元素金属的粉末。在经济方面可以有效且有利地回收。Ru粉末等铂族元素金属粉末的制造方法，可以通过简单的操作得到高纯度Ru粉末等铂族元素金属粉末。不需要使用昂贵的试剂等，是经济的高纯度Ru粉末等高纯度铂族金属粉末的制造方法，因此有用性极高。铂族元素金属粉末如Ru粉末可以具有优异的物理性能，例如使用方便的粒径，有利于生产高纯度和高密度的靶材，可广泛用于应用程序。
从废弃溅射靶材中回收贵金属的方法以溅射后的高纯度废弃靶材为起始原料，制备高纯度、微细结构且均匀的粉末原料。提供了一种制造方法和使用该制造方法制造靶材的方法。铂族元素金属粉末的制造方法中，将含有铂族元素的废料(废料)在熔融盐中，特别是在熔融盐浴中氯化，形成待回收金属的氯化物，将得到的金属氯化物进行还原处理，得到高纯度金属粉末。根据本发明的技术，提供了一种循环利用技术，其中有用的材料可以以经济上有利的方式从废物中获得，并且容易且容易地获得，并且可以通过简单的设备构造和制造过程获得。
在一个典型的实施例中，由于价格和回收期的问题，大量用于硬盘制造阶段溅射的废靶材被储存和储存。溅射钌的靶材包括纯钌和钌-铬合金，钌-铬合金中添加Cr作为稀释剂以降低成本。数量上，有很多纯钌。这种靶材是通过烧结法生产的，需要从中获得可再利用的粉末。特别是在钌的情况下，需要得到99.5％以上的纯度。Ru是具有极高熔点(2330°C)的贵金属，它不溶于王水，估计用铂这样的水溶液处理是极其困难的。因此，设想用熔融盐氯化并进一步减少所获得的氯化物。
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